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1、大多數的堆積技能都能夠將薄層厚度控制在幾個到幾十納米標準的范圍內，分子束外延技能能夠得到單一原子層的結構。
2、將金屬薄層堆積到襯底或之前獲得的薄層的技能稱為表面堆積。
3、硅酸鋁纖維板在堆積前，在爐內主動對零件和靶材一起進行清洗，以得到高結合力和成份準確的堆積層。